低真空機組的主要特點是工作壓力高、排氣量大，但抽速比高真空機組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大、工作壓力又高的真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等裝置中。

低真空抽氣機組的主泵常用往復式真空泵、油封式機械泵、干式機械泵、水噴射泵、水蒸氣噴射泵、水環泵，分子篩吸附泵、濕式羅茨泵等直排大氣真空泵.使用低真空抽氣機組，還需要根據被抽氣體清沽程度、濕度或其他特殊要求，配里必要的除塵器、水氣分離器、油水分離器、干澡阱等部件。

(1)油封機械泵機組抽除可凝性氣體的措施。

油封機械泵不適于抽除含有大量水蒸氣的氣體.水蒸氣在壓縮過程中會凝結成水滴，并與泵油混合形成懸浮液，破壞泵的抽氣性能，使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮裝皿的油封機械泵，并使泵的工作溫度控制在75-90℃之間，以減少氣鎮閥負擔;在機組中安裝水汽分離器或油水分離裝捉，將混有水的機械泵油進行處理，處理過的油再進人泵中使用;使用各種干燥吸附劑做成捕集阱吸收水蒸氣。使用各種冷凝器或冷阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，同時還可阻擋機械泵向真空室的返流。

(2)常用機組形式。

油封機械泵低真空機組.適用于化學氣相沉積裝置、真空包裝、醫藥工業等領域。

有擋油阱的低真空機組。雙級水環泵和大氣噴射泵申聯組成的機組極限壓力1300Pa。工作時，先開動水環泵，以獲得大氣噴射泵所需的預壓力，使大氣噴射泵的進氣口與出氣口之間有壓力差，大氣便通過噴射進人泵內形成高速運動氣流.將被抽氣體吸人，經擴壓器被水環泵排走。

該機組適用于真空蒸發、真空濃縮、真空浸演、真空干煤、真空冷凍等工藝過程。