在冷凍干燥過程中，常用的真空設備是真空機組，此工藝要求的真空度會特別高，而且抽取的氣體含有水蒸氣或者可凝性氣體，所以適用于羅茨水環真空機組。

在具體使用過程中，干燥箱內的總壓力直接影響著傳向產品的熱交換以及通往冷凝器的水蒸氣質量轉換，所以必須精確控制和測量。

通過降低真空泵抽氣能力或關閉真空泵，使升華的不凝性氣體逐步在冷阱中聚集，降低冷阱的冷凝速度，從而提高冷阱和干燥箱的壓力。該法可提高箱內全壓，改善傳熱條件和升華界面的允許溫度，同時暫時關閉泵還可降低運行成本。其缺點主要為傳導真空計的測量誤差較大．可能導致冷阱結冰不均勻．甚至造成進口處阻塞。