抽氣速率

真空泵出口為標準大氣壓狀態(760mm汞柱)時，單位時間內通過真空泵進口的吸入狀態下的氣體容積，單位為m3/min或m3/h。

極限真空 

真空泵氣量為零時的真空度。極限真空用絕對壓力表示，單位為mm汞柱(mmHg)，也可用相對于標準大氣壓力760mm汞柱的負差值表示(-mmHg)。二者換算關系為:絕對壓力(mmHg)=(-mmHg)+(760mmHg)=1mmHg=133.322Pa。