不同型號的真空泵具有不同的作用和工作原理，運用到的具體工藝也不盡相同，本文就各種真空泵的具體作用作以下闡述：
1、羅茨式真空泵作用原理是:它具有一對同步高速旋轉的鞋底型轉子，由于轉子的不停旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空隙內，而經排氣口排出，由于吸氣后此空隙是全封閉狀態，所以泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹，但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，此空隙與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，側有一部分氣體反沖到此空隙中去，使氣體壓強突然增高，當轉子繼續轉到出口時，氣體排出泵外。
2、水環式真空泵作用原理是:葉輪偏心裝在接近圓形的泵體內，當葉輪順時針旋轉時，因離心作用，注入泵體內的水形成旋轉的水環，水環的內表面與葉輪輪毅之間形成一個月牙形空間，空間增大時，氣體由外界吸入，當葉輪繼續旋轉，相應的空間變小，原先吸入的氣體受到壓縮，當壓力達到或略大于氣體壓力時，氣體被排出。
3、往復式真空泵的作用原理是:采用活塞的往復運動而進行抽氣，此類泵連續性差，比較簡單。
4、蒸汽噴射泵的原理是:8~12kkg/cm2的中壓蒸汽，通過噴嘴的絕熱膨脹，速度劇增至1000m/s以上，將二次蒸汽及不凝氣吸入至混合室，二次蒸汽及不凝氣吸和中壓蒸汽混合后，速度增加到200m/s左右，中壓蒸汽攜帶者吸入蒸氣進入擴壓器，混合蒸汽在壓縮器中壓縮，減壓后，排出泵外。進口蒸汽噴射泵，同心度高，材質好，噴嘴設計巧妙，國產蒸噴目前生產技術還無法和進口先進蒸噴相比。
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